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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:76

题名/责任者:
微纳米测量技术/王伯雄, 陈非凡, 董瑛编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2006
ISBN及定价:
7-302-13063-9/CNY24.00
载体形态项:
223页:图;23cm
并列正题名:
Metrology for micro-and nanotechnology
丛编项:
清华大学微机电系统工程系列教材
个人责任者:
陈非凡 编著
个人责任者:
董瑛 编著
个人责任者:
王伯雄 编著
学科主题:
纳米材料-测量技术
中图法分类号:
P2
中图法分类号:
TB383
书目附注:
有书目 (第221-223页)
提要文摘附注:
全书共4章,内容包括:微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容;微型传感器的工作原理及其典型应用;微南米测量技术中的光学方法,光学测量系统的结构及应用;微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、微位移、振动等典型物理量的测量技术应用。
随书光盘:
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TB383/43 00815077   东3层4区      可借
TB383/43 00815078   东3层4区      可借
TB383/43 00815079   东3层4区      保留本
TB383/43 00815080   东3层4区      可借
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