- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-118-04121-1/CNY32.00
- 载体形态项:
- XII, 371页, [1] 叶图版:图, 折图;23cm
- 并列正题名:
- MEMS design and manufacture
- 丛编项:
- 研究生系列规划教材
- 个人责任者:
- 朱钟淦 编著
- 个人责任者:
- 刘晓明 编著
- 学科主题:
- 微电机-制造
- 学科主题:
- 机电系统-微型-设计
- 学科主题:
- 机电系统-微型-制造
- 学科主题:
- 微电机-系统设计
- 中图法分类号:
- TH-39
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 电子科技大学研究生系列教材建设项目
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目 (第369-371页)
- 提要文摘附注:
- 本书概要介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路 (IC) 基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。
- 随书光盘:
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TM38/12 | 00783843 |  东3层4区
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可借 | |
| TM38/12 | 00783844 | 东3层4区
|
保留本 |
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