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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:43

题名/责任者:
抗蚀剂及其微细加工技术/顾振军, 孙猛主编
出版发行项:
上海:上海交通大学出版社,1989
ISBN及定价:
7-313-00617-9/CNY6.50
载体形态项:
236页:图;26cm
个人责任者:
孙猛 主编
个人责任者:
顾振军 主编
学科主题:
耐蚀材料-集成电路
学科主题:
集成电路工艺
学科主题:
集成电路-耐蚀材料
中图法分类号:
TQ047.6
科图法分类号:
81.2
书目附注:
有书目 (第236页)。
提要文摘附注:
本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。
随书光盘:
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TQ047.6/1 E0075555   东6层4区      可借
TQ047.6/1 E0105146   东6层4区      可借
TQ047.6/1 01350376   (东)下架室      分馆藏书
TQ047.6/1 E0105147   (东)下架室      分馆藏书
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