MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：91
- 题名/责任者:
- 微系统设计与制造/王喆垚编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-302-39167-8/CNY98.00
- 载体形态项:
- 742页:图;26cm
- 丛编项:
- 信息、控制与系统技术丛书
- 个人责任者:
- 王喆垚 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN40
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目 (第731-742页)。
- 提要文摘附注:
- 本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括： 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法，以及重点和前沿应用研究领域的发展。
- 使用对象附注:
- 本书可供高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供相关领域的工程技术人员参考。
- 随书光盘:
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN4/52(2) | 01236412 |  东3层4区
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可借 | |
| TN4/52(2) | 01236411 | 东3层4区
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可借 |
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