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题名/责任者:

微机电系统(MEMS)原理、设计和分析/田文超著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-5606-2223-1/CNY30.00

载体形态项:

250页:图;26cm

并列正题名:

Principle, design and analysis of Mems

丛编项:

青年学术文库

个人责任者:

田文超, 1968- 著

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

书目附注:

有书目 (第246-250页)

提要文摘附注:

本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。

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