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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：48

题名/责任者:
MEMS技术及应用/蒋庄德等著
出版发行项:
北京:高等教育出版社,2018
ISBN及定价:
978-7-04-050478-1 精装/CNY69.00
载体形态项:
318页:图, 肖像;27cm
并列正题名:
Technologies and applications of MEMS
丛编项:
先进制造科学与技术丛书
丛编项:
机械工程前沿著作系列
个人责任者:
蒋庄德 著
学科主题:
微电机-高等学校-教材
中图法分类号:
TM38
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书内容包括MEMS导论、MEMS结构、MEMS材料、MEMS工艺、MEMS设计、MEMS测量、MEMS应用，以及纳机电系统(NEMS)和石墨烯，阐述了微机电系统的主流技术、典型应用和研究热点。
使用对象附注:
高等学校教材
随书光盘:
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TM38/17 01251133   西区4层      可借
TM38/17 01251132   东3层4区      可借
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