MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 现代高纯气体:制取、分析与安全使用/尹恩华著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-03-044967-2/CNY108.00
- 载体形态项:
- 336页:图;24cm
- 其它题名:
- 制取、分析与安全使用
- 个人责任者:
- 尹恩华 著
- 学科主题:
- 工业气体-化工生产
- 中图法分类号:
- TQ116
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等, 无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心, 在制取高纯气体方面, 本书介绍国内外最新文献, 包括: 吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外, 书中介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体, 使用的安全措施尤为重要, 其内容还包括: 容器、介质、传感器和废气的节能减排。
- 随书光盘:
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TQ116/1 | 01155363 |  西区4层
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可借 | |
| TQ116/1 | 01155364 | 东3层4区
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可借 |
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