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题名/责任者:

微电子制造科学原理与工程技术/(美) Stephen A. Campbell著 曾莹 ... [等] 译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2003

ISBN及定价:

7-5053-8313-2/CNY59.00

载体形态项:

613页:图;26cm

并列正题名:

Science and engineering of microelectronic fabrication

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

坎贝尔, S. A. (Campbell, Stephen A.) 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

曾莹 译

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN405

题名责任附注:

本文其他译者: 严利人, 王纪民, 张伟

出版发行附注:

本书由美国Oxford University Press 公司授权电子工业出版社出版。

连接字段附注:

据美国Oxford University Press公司2001年英文版第2版译出

责任者附注:

责任者规范汉译姓: 坎贝尔

书目附注:

有书目 (第593-594页)

豆瓣简介：

随书光盘: