MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：50
- 题名/责任者:
- 聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪, 马向国, 李文萍著
- 出版发行项:
- 北京:北京工业大学出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-5639-1690-3/CNY55.00
- 载体形态项:
- 344页:图, 肖像;26cm
- 个人责任者:
- 马向国, 1975- 著
- 个人责任者:
- 李文萍, 1976- 著
- 个人责任者:
- 顾文琪, 1941- 著
- 学科主题:
- 离子束聚变装置-离子束加工
- 中图法分类号:
- TN405.98
- 中图法分类号:
- TL632
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助
- 书目附注:
- 有书目 (第344页)
- 提要文摘附注:
- 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
- 随书光盘:
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TL632/1 | 00916021 |  西区密排2区
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可借 | |
| TL632/1 | 00916022 | 西区密排2区
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可借 | |
| TL632/1 | 00916023 | 东3层4区
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可借 | |
| TL632/1 | 00916024 | 东3层4区
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保留本 |
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