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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:57

题名/责任者:
聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪, 马向国, 李文萍著
出版发行项:
北京:北京工业大学出版社,2006
ISBN及定价:
7-5639-1690-3/CNY55.00
载体形态项:
344页:图, 肖像;26cm
丛编项:
电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
个人责任者:
马向国, 1975- 著
个人责任者:
李文萍, 1976- 著
个人责任者:
顾文琪, 1941- 著
学科主题:
离子束聚变装置-离子束加工
中图法分类号:
TN405.98
中图法分类号:
TL632
一般附注:
国家科学技术学术著作出版基金资助
书目附注:
有书目 (第344页)
提要文摘附注:
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。
随书光盘:
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TL632/1 00916021   西区密排2区      可借
TL632/1 00916022   西区密排2区      可借
TL632/1 00916023   东3层4区      可借
TL632/1 00916024   东3层4区      保留本
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