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题名/责任者:

微纳尺度制造工程/(美) 斯蒂芬A. 坎贝尔著 严利人, 张伟等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2011

ISBN及定价:

978-7-121-13428-9/CNY83.00

载体形态项:

XIX, 640页:图;26cm

统一题名:

Fabrication engineering at the micro-and nanoscale

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

坎贝尔 (Campbell, S. A.) 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

张伟 译

学科主题:

微电子技术-生产工艺

中图法分类号:

TN405

版本附注:

据原书第3版译出

出版发行附注:

由Oxford University Press, Inc.,U.S.A.授权出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。

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