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题名/责任者:

软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美) D. 阿特伍德著 张杰等译

出版发行项:

北京:科学出版社,2003

ISBN及定价:

7-03-010813-2/CNY59.00

载体形态项:

xiii, 458页, [1] 叶图版:图;24cm

统一题名:

Soft X-rays and extreme ultraviolet radiation : principles and applications

个人责任者:

阿特伍德 (Attwood, David) 著

个人次要责任者:

张杰 译

学科主题:

紫外辐射-研究

学科主题:

X射线-研究

中图法分类号:

O434

相关题名附注:

英文题名取自版权页

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

主要介绍软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性, 讨论它们在多个领域的广泛应用, 包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。

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