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西文图书1.MEMS & microsystems : design and manufacture / TN40/HTR
馆藏复本:1
可借复本:1 Tai-Ran Hsu.
McGraw-Hill, c2002.
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中文图书2.MEMS和微系统:设计与制造:design and manufacture TH-39/77
馆藏复本:4
可借复本:3 (美) 徐泰然著
机械工业出版社 2004
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