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- 200 1_ |a 薄膜技术与薄膜材料 |A bo mo ji shu yu bo mo cai liao |f 田民波编著
- 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2006
- 215 __ |a 25, 962页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 新材料及在高技术中的应用丛书 |A xin cai liao ji zai gao ji shu zhong de ying yong cong shu
- 320 __ |a 有书目 (第959-962页)
- 330 __ |a 本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析等。
- 410 _0 |1 2001 |a 新材料及在高技术中的应用技术
- 606 0_ |a 薄膜技术 |A bo mo ji shu |x 研究
- 701 _0 |a 田民波 |A tian min bo |4 编著
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