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• 010 __ |a 978-7-111-28597-7 |b 精装 |d CNY63.00

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微机电系统设计与加工 |A wei ji dian xi tong she ji yu jia gong |d = MEMS design and fabrication |f (美) Mohamed Gad-el-Hak编 |g 张海霞, 赵小林等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a X, 536页, [4] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 27cm

• 225 2_ |a 国际机械工程先进技术译丛 |A guo ji ji xie gong cheng xian jin ji shu yi cong

• 305 __ |a 据英文版译出

• 314 __ |a 责任者Gad规范中译姓: 加德

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识.

• 410 _0 |1 2001 |a 国际机械工程先进技术译丛

• 500 10 |a MEMS design and fabrication |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 加工

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 系统设计

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |a 加德 |A jia de |g (Gad-el-Hak, Mohamed) |4 编

• 702 _0 |a 赵小林 |A zhao xiao lin |4 译

• 702 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 译

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20100604

• 901 __012010005500

• 905 __ |a CAU |d TM38/16

• 907 __ |a CAU |f TM38/16

• 999 __ |I waj |i 20100604 10:01:00 |G zxw |g 20100607 14:17:2