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• 200 1_ |a 聚焦离子束微纳加工技术 |A ju jiao li zi shu wei na jia gong ji shu |f 顾文琪, 马向国, 李文萍著

• 210 __ |a 北京 |c 北京工业大学出版社 |d 2006

• 215 __ |a 344页 |c 图, 肖像 |d 26cm

• 225 0_ |a 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |A dian zi shu、 li zi shu、 guang zi shu wei na jia gong ji shu xi lie zhuan zhu

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助

• 320 __ |a 有书目 (第344页)

• 330 __ |a 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 电子束离子束光子束微纳加工技术系列专著

• 606 0_ |a 离子束聚变装置 |A li zi shu ju bian zhuang zhi |x 离子束加工

• 690 __ |a TN405.98 |v 4

• 690 __ |a TL632 |v 4

• 701 _0 |a 马向国, |A ma xiang guo |f 1975- |4 著

• 701 _0 |a 李文萍, |A li wen ping |f 1976- |4 著

• 701 _0 |a 顾文琪, |A gu wen qi |f 1941- |4 著

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20070914

• 901 __012007033382

• 905 __ |a CAU |d TL632/1

• 907 __ |a CAU |f TL632/1

• 999 __ |I lzy |i 20070914 15:04:01 |G zhj |g 20070919 09:57:2