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- 010 __ |a 7-313-00617-9 |d CNY6.50
- 099 __ |a CAL 012000128319
- 100 __ |a 19971127d1989 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 抗蚀剂及其微细加工技术 |A kang shi ji ji qi wei xi jia gong ji shu |f 顾振军, 孙猛主编
- 210 __ |a 上海 |c 上海交通大学出版社 |d 1989
- 215 __ |a 236页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。
- 606 0_ |a 耐蚀材料 |A nai shi cai liao |x 集成电路
- 606 0_ |a 集成电路工艺 |A ji cheng dian lu gong yi
- 606 0_ |a 集成电路 |A ji cheng dian lu |x 耐蚀材料
- 701 _0 |a 孙猛 |A sun meng |4 主编
- 701 _0 |a 顾振军 |A gu zhen jun |4 主编
- 801 _2 |a CN |b CAU |c 20040409
- 801 _0 |a CN |b NLC |c 19901228
- 905 __ |a CAU |d TQ047.6/1