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• 010 __ |a 978-7-5606-2223-1 |d CNY30.00

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• 102 __ |a CN |b 610000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 |A wei ji dian xi tong (mems) yuan li、 she ji he fen xi |f 田文超著

• 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 250页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 青年学术文库 |A qing nian xue shu wen ku

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目 (第246-250页)

• 330 __ |a 本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。

• 410 _0 |1 2001 |a 青年学术文库

• 510 1_ |a Principle, design and analysis of Mems |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 田文超, |A tian wen chao |f 1968- |4 著

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20091023

• 901 __012009019909

• 905 __ |a CAU |d TN4/47

• 907 __ |a CAU |f TN4/47

• 999 __ |I wyh |i 20091023 11:04:07 |G zxw |g 20091028 14:01:2