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• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |A wei ji dian xi tong she ji yu zhi zao |f 莫锦秋 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心 |d 2004

• 215 __ |a 177页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 光机电一体化丛书 |A guang ji dian yi ti hua cong shu

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• 410 _0 |1 2001 |a 光机电一体化丛书

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 制造

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• 690 __ |a TH-39 |v 4

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• 701 _0 |a 莫锦秋 |A mo jin qiu |4 编著

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