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• 099 __ |a CAL 012003149448

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用 |A ruan x she xian yu ji zi wai fu she de yuan li he ying yong |f (美) D. 阿特伍德著 |g 张杰等译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a xiii, 458页, [1] 叶图版 |c 图 |d 24cm

• 312 __ |a 英文题名取自版权页

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 主要介绍软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性, 讨论它们在多个领域的广泛应用, 包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。

• 500 10 |a Soft X-rays and extreme ultraviolet radiation : principles and applications |m Chinese

• 606 0_ |a 紫外辐射 |A zi wai fu she |x 研究

• 606 0_ |a X射线 |A x she xian |x 研究

• 690 __ |a O434 |v 4

• 701 _1 |a 阿特伍德 |A a te wu de |g (Attwood, David) |4 著

• 702 _0 |a 张杰 |A zhang jie |4 译

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20070711

• 901 __012007030129

• 905 __ |a CAU |d O434/2

• 907 __ |a CAU |f O434/2

• 999 __ |I nhh |i 20070711 08:12:34 |G zxw |g 20070711 10:42:3