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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳米测量技术 |A wei na mi ce liang ji shu |d = Metrology for micro-and nanotechnology |f 王伯雄, 陈非凡, 董瑛编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2006

• 215 __ |a 223页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 清华大学微机电系统工程系列教材 |A qing hua da xue wei ji dian xi tong gong cheng xi lie jiao cai

• 320 __ |a 有书目 (第221-223页)

• 330 __ |a 全书共4章,内容包括:微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容;微型传感器的工作原理及其典型应用;微南米测量技术中的光学方法,光学测量系统的结构及应用;微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、微位移、振动等典型物理量的测量技术应用。

• 410 _0 |1 2001 |a 清华大学微机电系统工程系列教材

• 510 1_ |a Metrology for micro-and nanotechnology |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 测量技术

• 690 __ |a P2 |v 4

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 陈非凡 |A chen fei fan |4 编著

• 701 _0 |a 董瑛 |A dong ying |4 编著

• 701 _0 |a 王伯雄 |A wang bo xiong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20061222

• 901 __012006029703

• 905 __ |a CAU |d TB383/43

• 907 __ |a CAU |f TB383/43

• 999 __ |I waj |i 20061222 15:45:24 |G zxw |g 20070104 14:24:1