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• 200 1_ |a 精密纳米计量学 |A jing mi na mi ji liang xue |e 用于纳米制造的传感器和测量系统 |d = Precision nanometrology |e sensors and measuring systems for nanomanufacturing |f (日) Wei Gao著 |g 李雷 ... 等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 11, 243页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 军事计量科技译丛 |A jun shi ji liang ke ji yi cong

• 300 __ |a 装备科技译著出版基金

• 304 __ |a 题名页其余译者: 赵昭, 张慧, 王文娟等

• 306 __ |a 由Springer出版社授权出版

• 314 __ |a 著者汉译姓取自版权页: 高伟

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书介绍了精密纳米计量学的相关知识, 重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器, 提出了改善传感器灵敏度和带宽, 减小传感器尺寸的技术, 并开发了新的多轴传感方法 ; 同时, 介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统, 阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统 ; 最后对微观非球面的测量, 纳米制造中微纳结构的精密纳米计量, 以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。

• 410 _0 |1 2001 |a 军事计量科技译丛

• 500 10 |a Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing |m Chinese

• 517 1_ |a 用于纳米制造的传感器和测量系统 |A yong yu na mi zhi zao de chuan gan qi he ce liang xi tong

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu |x 应用 |x 计量学 |x 研究

• 690 __ |a TB9 |v 5

• 701 _0 |a 高伟 |A Gao Wei |4 著

• 702 _0 |a 李雷 |A Li Lei |4 译

• 702 _0 |a 赵昭 |A Zhao Zhao |4 译

• 702 _0 |a 张慧 |A Zhang Hui |4 译

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20231121

• 905 __ |a CAU |d TB9/80

• 920 __ |a 211180 |z 1