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题名/责任者:

微机电系统设计与加工/(美) Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞, 赵小林等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-111-28597-7 精装/CNY63.00

载体形态项:

X, 536页, [4] 页图版:图 (部分彩图);27cm

统一题名:

MEMS design and fabrication

丛编项:

国际机械工程先进技术译丛

个人责任者:

加德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 编

个人次要责任者:

赵小林 译

个人次要责任者:

张海霞 译

学科主题:

微电机-加工

学科主题:

微电机-系统设计

中图法分类号:

TM38

版本附注:

据英文版译出

责任者附注:

责任者Gad规范中译姓: 加德

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识.

豆瓣简介：

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