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MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：71

题名/责任者:
MEMS & microsystems : design and manufacture / Tai-Ran Hsu.
出版发行项:
Boston : McGraw-Hill, c2002.
ISBN:
0072393912 (alk. paper) :
载体形态项:
xii, 436 p. : ill. ; 24 cm.
变异题名:
MEMS and microsystems : design and manufacture
个人责任者:
Hsu, Tai-Ran.
论题主题:
Microelectronic packaging.
论题主题:
Microelectronics.
论题主题:
Microelectromechanical systems.
中图法分类号:
TN40
书目附注:
Includes bibliographical references (p. 427-431) and index.
随书光盘:
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TN40/HTR W0074109   西区4层      可借
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